本系列是由無油爪泵和無油分子真空泵串聯(lián)而成， 結(jié)合了兩種泵的優(yōu)點(diǎn)，結(jié)構(gòu)緊湊，運(yùn)行可靠。本單位是 國(guó)內(nèi)唯一家具有干式分子泵機(jī)組的廠家。由于分子泵啟 動(dòng)條件比較嚴(yán)格，對(duì)前級(jí)泵的極限真空度要求比較苛 刻，必須在干泵真空度抽到<10Pa 后，分子泵才可以 啟動(dòng)，這樣可以獲得較高的真空度。廣泛用于：真空實(shí) 驗(yàn)室等特殊無油高空度環(huán)境。用無油爪泵做前級(jí)泵，對(duì) 被抽環(huán)境無污染，無返油，維護(hù)周期長(zhǎng)，且能維持長(zhǎng)期 穩(wěn)定的極限壓力。
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